真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上，用來截止或接通真空系統(tǒng)。采用連接形式有活套法蘭連接、快卸法蘭連接、焊接式連接。焊接式連接又分焊接式I型連接〔即兩端焊接〕，焊接式II型連接〔即一端焊接，另一端插入〕。閥門適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

　　真空隔膜閥的結(jié)構(gòu)簡單、流體阻力小、流通能力較同規(guī)格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質(zhì)的調(diào)節(jié)。隔膜把介質(zhì)與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質(zhì)也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。

　　真空隔膜閥的主要應(yīng)用范圍：

　　一、半導(dǎo)體與微電子制造

　　晶圓制造（Wafer Fabrication）：

　　在化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕（Etching）、離子注入（Ion Implantation）等工藝的真空腔室中，作為過程氣體管路的開關(guān)閥。

　　用于真空泵的隔離和排氣管路控制。

　　要求：超高真空（UHV）、無顆粒污染、耐多種腐蝕性氣體（如Cl?,F?,HBr,WF?）。

　　平板顯示（FPD）與LED制造：

　　在大型真空鍍膜和刻蝕設(shè)備中，控制工藝氣體和真空度。

　　二、制藥與生物工程

　　無菌制藥生產(chǎn)：

　　在生物反應(yīng)器、發(fā)酵罐、純化系統(tǒng)的管路中，用于控制無菌空氣、氮氣、蒸汽或液體的流動。

　　優(yōu)勢：隔膜可選用符合FDA認證的材料（如EPDM,FPM/FFKM），可耐受CIP（在線清洗）和SIP（在線滅菌），w死角、易清潔、防止交叉污染，滿足GMP要求。

　　實驗室與中試設(shè)備：

　　在真空干燥箱、凍干機（Lyophilizer）、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀的真空管路中，作為隔離閥或控制閥。

　　三、化工與石化工業(yè)

　　腐蝕性介質(zhì)處理：

　　輸送和控制強酸（如硫酸、鹽酸、硝酸）、強堿、有機溶劑、鹵素氣體等腐蝕性流體。

　　隔膜材料（如PTFE、PFA、EPDM、FFKM）可針對特定介質(zhì)選擇，提供優(yōu)異的耐腐蝕性。

　　高純度化學(xué)品輸送：

　　在電子化學(xué)品、高純氣體的生產(chǎn)與輸送系統(tǒng)中，保證介質(zhì)的純凈度。

　　四、食品與飲料工業(yè)

　　衛(wèi)生級流體控制：

　　在乳品、飲料、釀酒、調(diào)味品等生產(chǎn)線的CIP/SIP系統(tǒng)和工藝管路中。

　　要求：符合3A、EHEDG等衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)，表面光潔（Ra≤0.8µm），無菌、無污染。

　　五、科學(xué)研究與分析儀器

　　高真空與超高真空系統(tǒng)：

　　在質(zhì)譜儀（MS）、電子顯微鏡（SEM/TEM）、粒子加速器、空間模擬艙等科研設(shè)備的真空腔體連接管路中，作為主隔離閥或粗抽/精抽切換閥。

　　優(yōu)勢：漏率極低（可達1x10??Pa·m³/s），出氣率低，放氣量小。

　　氣體色譜（GC）與液相色譜（HPLC）：

　　在自動進樣器、閥切換系統(tǒng)中，用于精確控制載氣或流動相的流向。

　　六、其他應(yīng)用

　　水處理與環(huán)保：

　　在反滲透（RO）、超濾（UF）等水處理系統(tǒng)的真空或低壓管路中。

　　控制廢氣處理系統(tǒng)中的腐蝕性氣體。

　　醫(yī)療設(shè)備：

　　在醫(yī)療分析儀器、呼吸機、透析機等設(shè)備中，用于安全、潔凈地控制氣體或液體。