擴(kuò)散泵機(jī)組廣泛應(yīng)用于：真空冶煉、真空焊接、分析儀器、功能型鍍膜、裝飾型鍍膜、電子管制造、電真空器件制造、光學(xué)、外層空間模擬、粒子加速器、石油化工、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
原理
擴(kuò)散泵機(jī)組的主泵是一種高真空泵，其工作介質(zhì)為擴(kuò)散泵油，其抽氣過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機(jī)械泵帶走的過(guò)程，是一種抽速可以做得很高真空泵。油擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，必須有前級(jí)真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到擴(kuò)散泵所能接受的壓力時(shí)才能開(kāi)始工作，否則，油擴(kuò)散泵將不能正常工作并造成氧化大量的返油等情況。該設(shè)備可用于真空爐體、真空罐體、氣站管道類等器件的真空排氣。
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