手動(dòng)真空角閥是一種專用于高真空或超高真空系統(tǒng)中的手動(dòng)控制閥門，其閥體呈90°直角結(jié)構(gòu)，主要用于接通或切斷真空管路中的氣流，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、粒子加速器、科研實(shí)驗(yàn)裝置及分析儀器等對(duì)密封性和潔凈度要求高的領(lǐng)域。

　　閥體通常采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼（如304或316L）整體加工而成，內(nèi)表面經(jīng)電解拋光處理（粗糙度Ra≤0.4μm），以最大限度減少表面吸附和氣體釋放。密封方式多采用金屬密封（如銅墊、不銹鋼刀口密封）或高性能氟橡膠（如FKM、FFKM）O型圈，可滿足從粗真空（10?Pa）到超高真空（≤10??Pa）的全范圍使用需求。其中，金屬密封角閥可耐受高溫烘烤（200–450℃），適用于需徹d除氣的潔凈真空環(huán)境。

　　手動(dòng)真空角閥的核心應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、半導(dǎo)體制造

　　應(yīng)用場(chǎng)景：在光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、干法刻蝕機(jī)等緊湊真空管路中，手動(dòng)真空角閥用于連接主泵（如分子泵）與前級(jí)泵（如干泵），或工藝腔與前級(jí)泵之間的粗抽/預(yù)真空管路。

　　優(yōu)勢(shì)：直角結(jié)構(gòu)適配設(shè)備內(nèi)部狹小空間，減少氣體吸附與流動(dòng)阻力；手動(dòng)操作便于精細(xì)調(diào)試，保障晶圓加工潔凈度；316L ELI閥體可防金屬離子污染，滿足超高真空（≤1.3×10??Pa）需求。

　　2、實(shí)驗(yàn)室科研

　　應(yīng)用場(chǎng)景：在多通道真空反應(yīng)裝置、質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡（SEM）等設(shè)備中，手動(dòng)真空角閥用于隔離或接通真空系統(tǒng)，營(yíng)造無(wú)污染實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

　　優(yōu)勢(shì)：手動(dòng)型便于實(shí)驗(yàn)人員根據(jù)需求靈活調(diào)節(jié)；角型結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)多管路垂直/水平轉(zhuǎn)向集成，節(jié)省實(shí)驗(yàn)臺(tái)空間；電解拋光流道內(nèi)壁（Ra≤0.4μm）減少氣體吸附，提高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性。

　　3、航空航天

　　應(yīng)用場(chǎng)景：在衛(wèi)星、火箭等狹小空間真空系統(tǒng)中，手動(dòng)真空角閥用于調(diào)節(jié)空間艙內(nèi)壓力，或隔離引擎細(xì)小區(qū)域的氣體流動(dòng)。

　　優(yōu)勢(shì)：全金屬結(jié)構(gòu)（如304/316L不銹鋼）耐高溫、抗腐蝕，適應(yīng)極d環(huán)境；低放氣設(shè)計(jì)（放氣率≤5×10??Pa·L/s）確保系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

　　4、光伏產(chǎn)業(yè)

　　應(yīng)用場(chǎng)景：在PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備中，手動(dòng)真空角閥用于邊角管路的連接與控制，優(yōu)化氣體傳輸路徑。

　　優(yōu)勢(shì)：90°流道結(jié)構(gòu)減少流阻，提高沉積效率；手動(dòng)操作降低設(shè)備復(fù)雜度，降低維護(hù)成本。